集成電路高溫老化系統簡介

老化溫度范圍

老化溫度：室溫150℃（最高）任意設置

保護功能

保護功能：獨立于系統的超溫保護裝置（控制誤差≤±3℃）和漏電保護裝置；超溫時，系統自動關閉高溫箱加熱，自動終止所有老化區的試驗，以確保試驗器件的安全性。

溫度梯度

125℃時小于3℃；

溫度偏差

小于±2℃；

溫度波動度

小于1℃；

加熱功率

高溫箱加熱功率為2.5kW(連續加熱條件下)；

溫度過沖

小于3℃；

記錄功能

能夠數字顯示試驗箱溫度,微機實時檢測、記錄試驗箱溫度，可表格形式和曲線描繪形式顯示試驗全過程的溫度參數，并記錄溫度超限的時間，并具有超溫報警保護功能。

試驗風道

試驗箱風道設計合理, 溫度均勻性好。溫度設定與實測一致性好。

老化板通道

提供16套老化板插槽，可同時裝入16塊老化板。

2. 老化電源主要技術指標見下表：

序號

輸出電壓

輸出電流

負載調整率/紋波

1

0-25V

0-60.0A

1%+50mV / 50mV

數字顯示輸出電壓、輸出電流及過壓保護電壓值。過流過壓、過熱短路保護

控制方式

每臺均為計算機控制大功率開關電源，通過程控接口可和上位計算機實現遠程通信操作和智能控制。

3. 圖形驅動板控制方式

一板1區工作方式

整機采用1板1區控制方式，共16個獨立的老化區，每塊圖形驅動檢測板具有開啟控制、老化全過程監控和關機控制。程控二級電源及64路數字信號發生的監控功能；

每區的配置能力

每個老化區對應1套二級電源（共4路：VCC、VCLK、VMUX、VEE）、1套信號驅動（共64路）、4路獨立控制的模擬信號、每路二級電源檢測、器件管腳波形測試/示波器回檢通道（共64路）、一套頻率測試電路等；

老化品種

整機16套圖形驅動檢測板可同時老化16個品種，獨立在線檢測工作狀態，64個老化信號觀測接口，通過示波器觀察信號波形

保護功能

系統提供超溫、超壓、超流保護功能，保護時可自動切斷相關故障部件。

4.整機試驗能力

每板64路檢測信號。整機16*64=1024檢測信號

5. 圖形驅動檢測板的主要指標

整機提供16套獨立控制的圖形驅動檢測板，每套圖形驅動檢測板均有獨立可編程的64路數字信號發生及驅動、可程控的四路二級電源、四路模擬信號的發生驅動、二級電源的檢測、上下位機的通訊控制、老化板器件的管腳信號檢測等；每塊圖形驅動檢測板獨立組成1個區對應1個老化板通道。

5.1數字信號特性

1

每塊圖形驅動監測板提供64路數字信號，每路數字信號可獨立三態輸出。

2

每路信號可設置為地址、數字和控制屬性。

3

編程步長設置范圍：50ns-0.4s

4

編程步長設置分辨率為50ns

5

每路信號編程深度：1-8Mbit

6

最高頻率：10MHz

7

信號程控范圍：1-5.5V 驅動電流：100mA

8

信號邊沿：≤10ns

5.2二級電源特性

5.2.1

每套圖形驅動檢測板提供可程控VCC（工作正電源）、VMUX（負載電源）、VCLK（信號電源）、VEE（工作負電源）共四路二級電源；輸出設置分辨率為0.1V；

5.2.2

輸出特性指標表：

5.3模擬信號特性

5.3.1

每塊圖形驅動檢測板有4路獨立可編程的模擬信號，波形（正弦、三角、前沿鋸齒、后沿鋸齒、方波）、頻率、幅度、偏移量可設置

5.3.2

信號頻率1k-1MHz可程控設置，頻率誤差小于±1%；

5.3.3

信號程控V_PP范圍：±0.5V-±10V（100k以下）；±0.5V-±5V（100k~2M）

5.3.4

直流偏移量：可設置為 -1/2VPP- +1/2VPP

5.3.5

編程步長：0.1V

5.3.6

每路模擬信號最大驅動電流為0.5A

5.4★高速通訊

采用TCP/IP高速通訊方式和多線程控制軟件，8M編程深度時所有區參數發送時間≤3秒。

5.5檢測特性

可檢測每路程控的二級電源的輸出電壓

檢測范圍：0-18V；檢測誤差: ≤1%±0.1V

可檢測二級電源的電壓值，并描繪電壓-時間曲線

可檢測二級電源電流（VCC、VMUX、VEE）

檢測范圍：0-10A；檢測誤差: ≤1%±0.1A

可檢測二級電源的電流值，并描繪電流-時間曲線

可檢測老化器件輸入輸出管腳信號頻率

檢測范圍：1-10000kHz；檢測誤差：≤±1%

可檢測高溫試驗箱試驗腔溫度

檢測范圍：0-150℃；檢測誤差：≤1%±1℃

可檢測、記錄、試驗箱溫度，描繪溫度-時間曲線

5.6老化板接口特性（兼容常規ELEA-V）

5.6.1

和老化板直接對接，采用金手指方式

5.6.2

接口模式為100+72雙總線接口，和老化板接口一一對應

5.6.3

老化板接口包括64路數字信號、64路回檢測試、4路模擬信號、3路二級電源（VCC、VMUX、VEE）、插板狀態檢測、電源及信號地線等。

5.7控制特性

5.7.1

可單獨設置每個老化區的老化時間：0-1000小時以上可任意設置，器件老化結束后，系統自動報警，并可定時關機。

5.7.2

可單獨控制每個老化區的老化啟動、老化暫停、老化繼續、終止。

5.7.3

可單獨設置每個老化區的試驗器件庫參數，對應單獨的器件型號。

6.整機風道設計

   采用左側進風頂部出風的風道模式，可在設備上方連接排風管道將熱量排除室外，改善實驗室環境，避免多臺設備間的影響，提高設備運行可靠性。同時進風口安裝可拆卸網板，便于清洗。

7. 運行指示燈

設備頂部安裝運行狀態指示燈，直觀指示設備的運行狀態（空閑、正常運行或異常），方便操作人員發現異常狀態及時排除。

8. 采用上架式工控機，配置標準鍵盤鼠標和17寸液晶顯示器。采用多線程控制軟件系統。

9. 集中控制系統

    可通過局域網將多套可靠性試驗設備組網運行，通過服務器實時監測各設備的運行狀態，并集中采集試驗數據供分析處理。

10.設備使用條件：

1

環境溫度：5℃-35℃ 

2

相對濕度：不大于80%；大氣壓強：750±30mmHg

3

電網電壓：AC380V±38V

4

電網頻率：50Hz±1Hz

5

周圍環境無強磁場干擾和有害氣體侵蝕

6

功率（最大）：小于10.0kW